設備類型 :在線全自動3D SPI特 性 :3D高精度輪廓測量技術應用適用基板 :50mm x 70mm - 510mm x 460mm基板厚度 :0.6mm - 6.0mm 分辨率 :10μm - 15μm (可調)高度測量精度 :1μm外形尺寸 :W1080 x D1300 x H1850(mm)重量 :740KGMirage-D:全自動在線雙軌3D SPI外形尺寸 :W1160 x D1470 x H1875(mm)